Filmes ultrafinos de titânio transparentes para a luz visível a absorvedores de micro-ondas

Abstract

Este trabalho teve como objetivo a produção de filmes ultrafinos de titânio transparentes no espectro visível e absorvedores de micro-ondas na banda X (8-12 GHz) para uso em plataformas furtivas. Os filmes foram produzidos pela técnica de evaporação por feixe de elétrons nas taxas de 1 Å/s, 3 Å/s e 5 Å/s, com diferentes espessuras (20 Å, 25 Å, 30 Å, 40 Å, 50 Å e 75 Å), usando titânio com diferentes graus de pureza (TiGr2, TiGr4 e TiGr5). Os filmes foram depositados em substratos de vidro com dimensões de 24  24 mm2 e 24  12 mm2 e caracterizados por absorção de micro-ondas, transmitância na faixa da luz visível e medidas elétricas. Os resultados mostraram que a absorção de micro-ondas é diretamente proporcional à taxa de deposição e inversamente proporcional ao grau de pureza do titânio e à espessura do filme.